镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/05 22:52:32
镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,
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镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,
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镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,
有的时候新扩散泵油需要多用几次真空度才会有所提高.
检查一下新加的扩散泵油油量和型号与所用扩散泵是否相符.
检查一下高真空规管是否被油蒸汽污染(换一只新规管试一下)以及规管连线部分是否正常.
检查一下前级真空(低真空)真空度是否正常.
检查一下被抽系统内壁是否有污染物附着(例如油蒸汽).

如果都没有问题,那么就只能重新对系统进行检漏了.

这个。。。具体问题还要具体分析。仅凭这几句话,难以判断

用检漏仪检过吗? 镀膜用扩散泵

有几种可能,一,油温上不来,加热部分的问题。二,扩散泵的油位不正常。三,前级真空有问题。四冷阱不冷,反油造成。

可以考虑几个问题:1,考虑腔体漏气;2,考虑真空计问题;3考虑有没有真空计漏气,特别是热阴极电离规。

我是大永真空杨先生:18852645582,希望可以交个朋友。